台積電今後三年的1,000億美元資本支出，有80％將用於擴充先進製程產能，而隨著台積電先進製程向3奈米及2奈米發展，又以極紫外光（EUV）產能建置將占千億美元預算的最大比重。因此，若能透過EUV CIP計畫，減少EUV採購量，將有助台積提高自由現金流量。